Fotolithografie
Verlichting rondom processen waarin lichtgevoelige lagen en photoresists worden toegepast.
Amber / yellow light
Amber 590 nm verlichting voor semiconductor en fotolithografie
Specialistische verlichting voor processen waarin ongewenste golflengtes het productie- of inspectieproces kunnen beïnvloeden.
Indusen levert en adviseert DIANA-verlichtingsoplossingen voor semiconductor-, cleanroom- en high-tech equipment in de Benelux. Bij lichtgevoelige processen telt niet alleen de zichtbare kleur van de verlichting, maar vooral het uitgezonden spectrum.
585–595 nm
Peak 590 nm
Geen kritische emissie <500 nm volgens DIANA
ISO 5–7 oplossingen
Spectrum vóór kleurindruk
Een amberkleurige lamp is niet automatisch geschikt voor een kritisch lichtgevoelig proces.
Waarom amber licht?
Waarom wordt amber licht gebruikt bij lichtgevoelige processen?
Bij lichtgevoelige processen telt niet alleen de zichtbare kleur van de verlichting, maar vooral het uitgezonden spectrum.
Normaal wit LED-licht bestaat uit meerdere golflengtes. Bij bepaalde semiconductor-, lithografie- en materiaalprocessen kunnen delen van dat spectrum ongewenst zijn.
Daarom wordt bij sommige processen verlichting gebruikt waarvan het spectrum bewust wordt beperkt of afgestemd. Amber/yellow lighting kan daarbij een passende oplossing zijn.
De geschiktheid hangt altijd af van het daadwerkelijke proces. Photoresists en andere lichtgevoelige materialen kunnen verschillende spectrale gevoeligheden hebben.
Procesgerichte selectie
Proces → lichtgevoelig materiaal → spectrale eis → blootstelling → mechanische integratie
Golflengte uitgelegd
Wat betekent 590 nm?
Nanometer (nm) is een maat voor golflengte. 590 nm ligt in het geel/amberkleurige gedeelte van het zichtbare spectrum.
DIANA specificeert voor zijn huidige semiconductor yellow-light oplossingen een bereik van 585–595 nm met een piek rond 590 nm.
585–595 nm
peak 590 nm
amber spectrum
echte amber LED-technologie
Belangrijk technisch onderscheid
Een nominale golflengte van 590 nm betekent niet automatisch dat een lichtbron uitsluitend exact 590 nm uitzendt. Voor kritische toepassingen moet naar de volledige spectrale emissiecurve worden gekeken.
590 nm
UVBlueCyanGreenYellowAmberRed
Spectrale beoordeling
De spectrale curve bepaalt de geschiktheid
Bij kritische toepassingen is “590 nm” slechts het begin van de technische beoordeling.
Engineers kunnen bij selectie onder andere kijken naar:
- centrale golflengte en spectrale bandbreedte;
- ongewenste emissie bij kortere golflengtes;
- totale lichtintensiteit;
- afstand tussen lichtbron en proces;
- blootstellingstijd;
- gevoeligheid van het gebruikte materiaal;
- proces- en validatie-eisen van de eindklant.
Spectrale gegevens zijn op aanvraag beschikbaar en worden afgestemd op de toepassing.
Illustratief schema ter visuele toelichting — geen meetdata. Gebruik voor engineering en validatie uitsluitend officiële spectrale gegevens van DIANA en de proces-/materiaaldata van de klant.
Toepassingen
Waar wordt amber/yellow light toegepast?
DIANA positioneert de huidige amber cleanroomverlichting voor omgevingen waar lichtgevoelige processen en gecontroleerde productie samenkomen.
Wafer handling
Verlichting in machine- en handlingmodules rondom gevoelige processtappen.
Yellow rooms
Omgevingen waarin een gecontroleerd lichtspectrum vereist is voor proces- of materiaalbescherming.
Cleanroom equipment
Geïntegreerde machineverlichting in cleanroomapparatuur, procesmodules en productiezones.
Inspectie & service
Zichtbaarheid creëren zonder onnodig ongewenste spectrale componenten aan het proces toe te voegen.
High-tech OEM-machines
Klantspecifieke integratie van amber verlichting in terugkerende machineplatforms.
Photoresist
Photoresist en lichtgevoeligheid
Photoresists kunnen verschillende spectrale gevoeligheden hebben. Dat betekent dat een lichtbron niet alleen op zichtbare kleur of een nominale piekwaarde mag worden gekozen.
Er bestaat geen universele 590 nm-oplossing die automatisch geschikt is voor iedere photoresist.
Voor kritische processen gebruiken we daarom bij voorkeur de materiaal- en procesinformatie als basis voor de selectie.
Stuur uw photoresist-specificatieStuur indien beschikbaar mee
- datasheet van de gebruikte resist of het lichtgevoelige materiaal;
- toegestane golflengtes;
- uitgesloten of kritische golflengtes;
- procesinformatie en gebruiksfase;
- maximale lichtbelasting indien bekend;
- afstand en verwachte blootstellingstijd.
Indusen kan deze gegevens samen met DIANA vertalen naar een geschikte technische oplossingsrichting.
DIANA yellow-light portfolio
DIANA oplossingen voor lichtgevoelige processen
DIANA combineert specialistische lichtkleuren met ervaring in machineverlichting, cleanroomtoepassingen, RGB/RGBW en klantspecifieke productontwikkeling.
Technische highlights
Amber LED-technologie zonder gele filterkap
DIANA beschrijft voor deze productlijn speciaal ontwikkelde LED's die rechtstreeks het gewenste amber spectrum genereren. Er wordt dus niet gewerkt met een conventionele witte lichtbron achter een gele filterkap.
585–595 nm, peak 590 nm
Geen kritische componenten <500 nm
Stabiele spectrale eigenschappen
Homogene lichtverdeling
ISO Class 5–7 oplossingen
IP65+, IP67 op aanvraag
Silicone-free designs
Laminar-flow compatible
Tube lights
Slanke lineaire oplossingen voor machine-, RABS- en isolatorachtige toepassingen.
Recessed lights
Vlak geïntegreerde inbouwoplossingen voor machinewanden, plafonds of cleanroomconstructies.
Surface-mounted lights
Compacte opbouwoplossingen voor bestaande of nieuw ontworpen machineconstructies.
Light bars
Ruimtebesparende lichtlijnen voor eenvoudige integratie en verschillende machinevolumes.
Praktijkvoorbeeld
Verlichting voor UV-gevoelige producten
In de officiële DIANA-success story met Franz Ziel ontstond de oorspronkelijke vraag vanuit een Laminar Air Flow-systeem waarin amber verlichting gewenst was omdat producten UV-gevoelig waren.
De oplossing ontwikkelde zich vervolgens verder tot een RGBW-machineverlichtingsconcept met D45 Multi-Color, waarbij werkverlichting en statusindicatie werden gecombineerd.
De case laat goed zien waarom specialistische verlichting niet los van het machineconcept moet worden bekeken: materiaalvereisten, cleanroom, luchtstroom, verlichting en operatorinformatie kwamen samen in één project.
Bronvermelding
Deze oplossing is ontwikkeld en geleverd door DIANA Electronic-Systeme GmbH. Indusen vertegenwoordigt DIANA als officieel distributeur voor Nederland, België en Luxemburg.
OEM-integratie
Amber verlichting integreren in uw machineontwerp
Bij een terugkerend machineplatform is de verlichting meer dan een losse component. De bouwvorm, plaatsing, connector, bekabeling en spectrale eis moeten samen in het machineontwerp passen.
Indusen kan de technische eisen verzamelen en samen met DIANA beoordelen of een standaarduitvoering of projectgerichte aanpassing de beste route is.
Bespreek uw OEM-projectTechnische selectie
Welke informatie hebben wij nodig?
Met deze acht punten kunnen we meestal snel bepalen welke informatie nog ontbreekt en welke DIANA-oplossingsroute relevant is.
Proces
Wat gebeurt er in de machine en wanneer is de verlichting actief?
Lichtgevoelig materiaal
Welke photoresist, coating of ander gevoelig materiaal wordt gebruikt?
Spectrale eis
Zijn toegestane, gewenste of verboden golflengtes bekend?
Afstand
Hoe ver bevindt de lichtbron zich van het kritische proces?
Lichtfunctie
Inspectie, bediening, service of permanente procesverlichting?
Machineomgeving
Cleanroomclass, vocht, reiniging, temperatuur en materiaalvereisten.
Mechanica
Lengte, montage, bouwvorm en beschikbare ruimte.
Aantallen
Aantal per machine, prototypefase en verwacht jaarvolume.
Belangrijk: de term “590 nm” alleen is onvoldoende om geschiktheid voor een proces te bepalen.
Controleer bij kritische lichtgevoelige processen altijd de volledige spectrale emissie en de gevoeligheid van het gebruikte materiaal. Indusen en DIANA kunnen ondersteunen bij deze technische beoordeling.
Meer DIANA-oplossingen
Meer dan alleen amber verlichting
Binnen semiconductor- en high-tech equipment kan naast specialistisch amber licht ook behoefte bestaan aan normale machineverlichting, RGBW-statusindicatie of andere klantspecifieke lichtoplossingen.
Semiconductor-verlichting
Bekijk cleanroom-, amber- en high-tech lichtoplossingen als breder geheel.
Bekijk alle semiconductor-verlichting →
Machineverlichting
Voor niet-lichtgevoelige machinezones levert Indusen conventionele industriële LED-machineverlichting.
Bekijk machineverlichting →
RGBW-statusverlichting
Combineer waar technisch passend functionele machineverlichting met visuele machinestatus.
Bekijk RGBW-statusverlichting →Waarom via Indusen?
Technische ondersteuning voor de Benelux
Officieel DIANA-distributeur
Indusen vertegenwoordigt DIANA Electronic-Systeme in Nederland, België en Luxemburg.
Technische selectie
Selectie vanuit proces- en machinevereisten in plaats van alleen kleur, vermogen of afmetingen.
Spectrale beoordeling
Ondersteuning bij het inventariseren van gewenste en ongewenste lichtkarakteristieken.
Directe samenwerking met DIANA
Specialistische OEM- en semiconductorprojecten kunnen gezamenlijk met DIANA worden beoordeeld.
Lichtgevoelig proces?
Stuur ons uw proces- en spectrale eisen
Deel de processpecificatie, gebruikte photoresist of gewenste spectrale eigenschappen. Indusen beoordeelt samen met DIANA welke oplossingsrichting technisch passend is.
Bij kritische toepassingen is materiaal- of processpecificatie veel waardevoller dan alleen de vraag naar “een 590 nm lamp”.
Photoresist datasheet
Spectrale eis
Cleanroomclass
Machinefoto / tekening
Werkafstand
OEM-aantallen
Technisch advies aanvragen
Stuur beschikbare proces- en machinegegevens mee. Daarmee kunnen we gerichter met DIANA afstemmen.
Veelgestelde vragen
Veelgestelde vragen over 590 nm en amber verlichting
Wat is 590 nm licht?
590 nm is een golflengte in het geel/amberkleurige deel van het zichtbare spectrum. DIANA specificeert voor zijn huidige semiconductor yellow-light oplossingen een bereik van 585–595 nm met een piek rond 590 nm.
Welke kleur is 590 nm?
Voor het menselijk oog valt 590 nm in het geel- tot amberkleurige gebied. De zichtbare kleur alleen zegt echter niet genoeg over de volledige spectrale emissie van een lichtbron.
Waarom wordt geel licht gebruikt in fotolithografie?
Bij fotolithografie worden lichtgevoelige materialen gebruikt. Door de verlichting spectraal te beperken kan ongewenste blootstelling aan kritische kortere golflengtes worden verminderd. De exacte geschiktheid moet op het gebruikte materiaal en proces worden afgestemd.
Is 590 nm geschikt voor iedere photoresist?
Nee. De vereiste spectrale eigenschappen zijn afhankelijk van materiaal en proces. Gebruik bij kritische toepassingen de resistdatasheet en procesvereisten als uitgangspunt.
Wat is het verschil tussen amber light en normaal geel LED-licht?
Een lamp kan visueel geel lijken terwijl de spectrale emissie anders is dan gewenst. DIANA beschrijft zijn semiconductor yellow-light systemen als speciaal ontwikkelde amber LED-oplossingen zonder conventionele gele filterkap, met een gecontroleerd bereik rond 590 nm.
Welke gegevens zijn nodig om geschikte verlichting te selecteren?
Bij voorkeur ontvangen we informatie over proces, lichtgevoelig materiaal, toegestane of verboden golflengtes, afstand tot het proces, gewenste lichtfunctie, cleanroom- of omgevingscondities, mechanische ruimte en aantallen.
Kan amber verlichting in een machine worden geïntegreerd?
Ja. DIANA toont onder andere tube lights, recessed lights, surface-mounted lights, light bars en machine-geïntegreerde oplossingen. De juiste bouwvorm wordt op de machine afgestemd.
Kan amber licht worden gecombineerd met RGBW-statusverlichting?
Dat kan in bepaalde machineconcepten relevant zijn, maar niet iedere amberlamp ondersteunt automatisch RGBW. De Franz Ziel-case van DIANA laat zien hoe een oorspronkelijke amber-vraag uiteindelijk in een aparte RGBW-oplossing voor werkverlichting en statusindicatie is uitgewerkt.
Kan DIANA een klantspecifieke uitvoering leveren?
Ja. DIANA ontwikkelt ook klantspecifieke LED-oplossingen. Afmetingen, materialen, montage, aansluitingen en lichttechnische eisen worden daarbij projectspecifiek beoordeeld.
Lichtgevoelig proces?
Laat de verlichting aansluiten op uw proces
Stuur ons de processpecificatie, gebruikte photoresist of gewenste spectrale eigenschappen. Indusen beoordeelt samen met DIANA welke lichtoplossing geschikt is voor uw toepassing.
Indusen – officieel DIANA-distributeur voor Nederland, België en Luxemburg.
Amber / yellow light
Amber 590 nm verlichting voor semiconductor en fotolithografie
Specialistische verlichting voor processen waarin ongewenste golflengtes het productie- of inspectieproces kunnen beïnvloeden.
Indusen levert en adviseert DIANA-verlichtingsoplossingen voor semiconductor-, cleanroom- en high-tech equipment in de Benelux. Bij lichtgevoelige processen telt niet alleen de zichtbare kleur van de verlichting, maar vooral het uitgezonden spectrum.
585–595 nm
Peak 590 nm
Geen kritische emissie <500 nm volgens DIANA
ISO 5–7 oplossingen
Spectrum vóór kleurindruk
Een amberkleurige lamp is niet automatisch geschikt voor een kritisch lichtgevoelig proces.
Waarom amber licht?
Waarom wordt amber licht gebruikt bij lichtgevoelige processen?
Bij lichtgevoelige processen telt niet alleen de zichtbare kleur van de verlichting, maar vooral het uitgezonden spectrum.
Normaal wit LED-licht bestaat uit meerdere golflengtes. Bij bepaalde semiconductor-, lithografie- en materiaalprocessen kunnen delen van dat spectrum ongewenst zijn.
Daarom wordt bij sommige processen verlichting gebruikt waarvan het spectrum bewust wordt beperkt of afgestemd. Amber/yellow lighting kan daarbij een passende oplossing zijn.
De geschiktheid hangt altijd af van het daadwerkelijke proces. Photoresists en andere lichtgevoelige materialen kunnen verschillende spectrale gevoeligheden hebben.
Procesgerichte selectie
Proces → lichtgevoelig materiaal → spectrale eis → blootstelling → mechanische integratie
Golflengte uitgelegd
Wat betekent 590 nm?
Nanometer (nm) is een maat voor golflengte. 590 nm ligt in het geel/amberkleurige gedeelte van het zichtbare spectrum.
DIANA specificeert voor zijn huidige semiconductor yellow-light oplossingen een bereik van 585–595 nm met een piek rond 590 nm.
585–595 nm
peak 590 nm
amber spectrum
echte amber LED-technologie
Belangrijk technisch onderscheid
Een nominale golflengte van 590 nm betekent niet automatisch dat een lichtbron uitsluitend exact 590 nm uitzendt. Voor kritische toepassingen moet naar de volledige spectrale emissiecurve worden gekeken.
590 nm
UVBlueCyanGreenYellowAmberRed
Spectrale beoordeling
De spectrale curve bepaalt de geschiktheid
Bij kritische toepassingen is “590 nm” slechts het begin van de technische beoordeling.
Engineers kunnen bij selectie onder andere kijken naar:
- centrale golflengte en spectrale bandbreedte;
- ongewenste emissie bij kortere golflengtes;
- totale lichtintensiteit;
- afstand tussen lichtbron en proces;
- blootstellingstijd;
- gevoeligheid van het gebruikte materiaal;
- proces- en validatie-eisen van de eindklant.
Spectrale gegevens zijn op aanvraag beschikbaar en worden afgestemd op de toepassing.
Illustratief schema ter visuele toelichting — geen meetdata. Gebruik voor engineering en validatie uitsluitend officiële spectrale gegevens van DIANA en de proces-/materiaaldata van de klant.
Toepassingen
Waar wordt amber/yellow light toegepast?
DIANA positioneert de huidige amber cleanroomverlichting voor omgevingen waar lichtgevoelige processen en gecontroleerde productie samenkomen.
Fotolithografie
Verlichting rondom processen waarin lichtgevoelige lagen en photoresists worden toegepast.
Wafer handling
Verlichting in machine- en handlingmodules rondom gevoelige processtappen.
Yellow rooms
Omgevingen waarin een gecontroleerd lichtspectrum vereist is voor proces- of materiaalbescherming.
Cleanroom equipment
Geïntegreerde machineverlichting in cleanroomapparatuur, procesmodules en productiezones.
Inspectie & service
Zichtbaarheid creëren zonder onnodig ongewenste spectrale componenten aan het proces toe te voegen.
High-tech OEM-machines
Klantspecifieke integratie van amber verlichting in terugkerende machineplatforms.
Photoresist
Photoresist en lichtgevoeligheid
Photoresists kunnen verschillende spectrale gevoeligheden hebben. Dat betekent dat een lichtbron niet alleen op zichtbare kleur of een nominale piekwaarde mag worden gekozen.
Er bestaat geen universele 590 nm-oplossing die automatisch geschikt is voor iedere photoresist.
Voor kritische processen gebruiken we daarom bij voorkeur de materiaal- en procesinformatie als basis voor de selectie.
Stuur uw photoresist-specificatieStuur indien beschikbaar mee
- datasheet van de gebruikte resist of het lichtgevoelige materiaal;
- toegestane golflengtes;
- uitgesloten of kritische golflengtes;
- procesinformatie en gebruiksfase;
- maximale lichtbelasting indien bekend;
- afstand en verwachte blootstellingstijd.
Indusen kan deze gegevens samen met DIANA vertalen naar een geschikte technische oplossingsrichting.
DIANA yellow-light portfolio
DIANA oplossingen voor lichtgevoelige processen
DIANA combineert specialistische lichtkleuren met ervaring in machineverlichting, cleanroomtoepassingen, RGB/RGBW en klantspecifieke productontwikkeling.
Technische highlights
Amber LED-technologie zonder gele filterkap
DIANA beschrijft voor deze productlijn speciaal ontwikkelde LED's die rechtstreeks het gewenste amber spectrum genereren. Er wordt dus niet gewerkt met een conventionele witte lichtbron achter een gele filterkap.
585–595 nm, peak 590 nm
Geen kritische componenten <500 nm
Stabiele spectrale eigenschappen
Homogene lichtverdeling
ISO Class 5–7 oplossingen
IP65+, IP67 op aanvraag
Silicone-free designs
Laminar-flow compatible
Tube lights
Slanke lineaire oplossingen voor machine-, RABS- en isolatorachtige toepassingen.
Recessed lights
Vlak geïntegreerde inbouwoplossingen voor machinewanden, plafonds of cleanroomconstructies.
Surface-mounted lights
Compacte opbouwoplossingen voor bestaande of nieuw ontworpen machineconstructies.
Light bars
Ruimtebesparende lichtlijnen voor eenvoudige integratie en verschillende machinevolumes.
Praktijkvoorbeeld
Verlichting voor UV-gevoelige producten
In de officiële DIANA-success story met Franz Ziel ontstond de oorspronkelijke vraag vanuit een Laminar Air Flow-systeem waarin amber verlichting gewenst was omdat producten UV-gevoelig waren.
De oplossing ontwikkelde zich vervolgens verder tot een RGBW-machineverlichtingsconcept met D45 Multi-Color, waarbij werkverlichting en statusindicatie werden gecombineerd.
De case laat goed zien waarom specialistische verlichting niet los van het machineconcept moet worden bekeken: materiaalvereisten, cleanroom, luchtstroom, verlichting en operatorinformatie kwamen samen in één project.
Bronvermelding
Deze oplossing is ontwikkeld en geleverd door DIANA Electronic-Systeme GmbH. Indusen vertegenwoordigt DIANA als officieel distributeur voor Nederland, België en Luxemburg.
OEM-integratie
Amber verlichting integreren in uw machineontwerp
Bij een terugkerend machineplatform is de verlichting meer dan een losse component. De bouwvorm, plaatsing, connector, bekabeling en spectrale eis moeten samen in het machineontwerp passen.
Indusen kan de technische eisen verzamelen en samen met DIANA beoordelen of een standaarduitvoering of projectgerichte aanpassing de beste route is.
Bespreek uw OEM-projectTechnische selectie
Welke informatie hebben wij nodig?
Met deze acht punten kunnen we meestal snel bepalen welke informatie nog ontbreekt en welke DIANA-oplossingsroute relevant is.
Proces
Wat gebeurt er in de machine en wanneer is de verlichting actief?
Lichtgevoelig materiaal
Welke photoresist, coating of ander gevoelig materiaal wordt gebruikt?
Spectrale eis
Zijn toegestane, gewenste of verboden golflengtes bekend?
Afstand
Hoe ver bevindt de lichtbron zich van het kritische proces?
Lichtfunctie
Inspectie, bediening, service of permanente procesverlichting?
Machineomgeving
Cleanroomclass, vocht, reiniging, temperatuur en materiaalvereisten.
Mechanica
Lengte, montage, bouwvorm en beschikbare ruimte.
Aantallen
Aantal per machine, prototypefase en verwacht jaarvolume.
Belangrijk: de term “590 nm” alleen is onvoldoende om geschiktheid voor een proces te bepalen.
Controleer bij kritische lichtgevoelige processen altijd de volledige spectrale emissie en de gevoeligheid van het gebruikte materiaal. Indusen en DIANA kunnen ondersteunen bij deze technische beoordeling.
Meer DIANA-oplossingen
Meer dan alleen amber verlichting
Binnen semiconductor- en high-tech equipment kan naast specialistisch amber licht ook behoefte bestaan aan normale machineverlichting, RGBW-statusindicatie of andere klantspecifieke lichtoplossingen.
Semiconductor-verlichting
Bekijk cleanroom-, amber- en high-tech lichtoplossingen als breder geheel.
Bekijk alle semiconductor-verlichting →Machineverlichting
Voor niet-lichtgevoelige machinezones levert Indusen conventionele industriële LED-machineverlichting.
Bekijk machineverlichting →RGBW-statusverlichting
Combineer waar technisch passend functionele machineverlichting met visuele machinestatus.
Bekijk RGBW-statusverlichting →Waarom via Indusen?
Technische ondersteuning voor de Benelux
Officieel DIANA-distributeur
Indusen vertegenwoordigt DIANA Electronic-Systeme in Nederland, België en Luxemburg.
Technische selectie
Selectie vanuit proces- en machinevereisten in plaats van alleen kleur, vermogen of afmetingen.
Spectrale beoordeling
Ondersteuning bij het inventariseren van gewenste en ongewenste lichtkarakteristieken.
Directe samenwerking met DIANA
Specialistische OEM- en semiconductorprojecten kunnen gezamenlijk met DIANA worden beoordeeld.
Lichtgevoelig proces?
Stuur ons uw proces- en spectrale eisen
Deel de processpecificatie, gebruikte photoresist of gewenste spectrale eigenschappen. Indusen beoordeelt samen met DIANA welke oplossingsrichting technisch passend is.
Bij kritische toepassingen is materiaal- of processpecificatie veel waardevoller dan alleen de vraag naar “een 590 nm lamp”.
Photoresist datasheet
Spectrale eis
Cleanroomclass
Machinefoto / tekening
Werkafstand
OEM-aantallen
Technisch advies aanvragen
Stuur beschikbare proces- en machinegegevens mee. Daarmee kunnen we gerichter met DIANA afstemmen.
Veelgestelde vragen
Veelgestelde vragen over 590 nm en amber verlichting
Wat is 590 nm licht?
590 nm is een golflengte in het geel/amberkleurige deel van het zichtbare spectrum. DIANA specificeert voor zijn huidige semiconductor yellow-light oplossingen een bereik van 585–595 nm met een piek rond 590 nm.
Welke kleur is 590 nm?
Voor het menselijk oog valt 590 nm in het geel- tot amberkleurige gebied. De zichtbare kleur alleen zegt echter niet genoeg over de volledige spectrale emissie van een lichtbron.
Waarom wordt geel licht gebruikt in fotolithografie?
Bij fotolithografie worden lichtgevoelige materialen gebruikt. Door de verlichting spectraal te beperken kan ongewenste blootstelling aan kritische kortere golflengtes worden verminderd. De exacte geschiktheid moet op het gebruikte materiaal en proces worden afgestemd.
Is 590 nm geschikt voor iedere photoresist?
Nee. De vereiste spectrale eigenschappen zijn afhankelijk van materiaal en proces. Gebruik bij kritische toepassingen de resistdatasheet en procesvereisten als uitgangspunt.
Wat is het verschil tussen amber light en normaal geel LED-licht?
Een lamp kan visueel geel lijken terwijl de spectrale emissie anders is dan gewenst. DIANA beschrijft zijn semiconductor yellow-light systemen als speciaal ontwikkelde amber LED-oplossingen zonder conventionele gele filterkap, met een gecontroleerd bereik rond 590 nm.
Welke gegevens zijn nodig om geschikte verlichting te selecteren?
Bij voorkeur ontvangen we informatie over proces, lichtgevoelig materiaal, toegestane of verboden golflengtes, afstand tot het proces, gewenste lichtfunctie, cleanroom- of omgevingscondities, mechanische ruimte en aantallen.
Kan amber verlichting in een machine worden geïntegreerd?
Ja. DIANA toont onder andere tube lights, recessed lights, surface-mounted lights, light bars en machine-geïntegreerde oplossingen. De juiste bouwvorm wordt op de machine afgestemd.
Kan amber licht worden gecombineerd met RGBW-statusverlichting?
Dat kan in bepaalde machineconcepten relevant zijn, maar niet iedere amberlamp ondersteunt automatisch RGBW. De Franz Ziel-case van DIANA laat zien hoe een oorspronkelijke amber-vraag uiteindelijk in een aparte RGBW-oplossing voor werkverlichting en statusindicatie is uitgewerkt.
Kan DIANA een klantspecifieke uitvoering leveren?
Ja. DIANA ontwikkelt ook klantspecifieke LED-oplossingen. Afmetingen, materialen, montage, aansluitingen en lichttechnische eisen worden daarbij projectspecifiek beoordeeld.
Lichtgevoelig proces?
Laat de verlichting aansluiten op uw proces
Stuur ons de processpecificatie, gebruikte photoresist of gewenste spectrale eigenschappen. Indusen beoordeelt samen met DIANA welke lichtoplossing geschikt is voor uw toepassing.
Indusen – officieel DIANA-distributeur voor Nederland, België en Luxemburg.